测量范围不平度平均高度值 (微米) |
表面光洁度级别 | 所需物镜 | 总放大倍数 |
物镜组件 工作距离 (毫米) |
视 场 (毫米) |
>1.0~1.6 >1.6~6.3 >6.3~20 >20~80 |
9 8~7 6~5 4~3 |
60timesN.A.0.55 30timesN.A.0.40 14timesN.A.0.20 7timesN.A.0.12 |
510times 260 times 120 times 60 times |
0.04 0.2 2.5 9.5 |
0.3 0.6 1.3 2.5 |